我國建成首條光刻用石英玻璃基板成套生產線

發布日期：2016-06-16來源：中國建筑材料集團公司編輯：賈愛萍

[摘要]

　　近日，中國建材集團所屬中國建材總院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術，在衢州建成了國內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線。該生產線可年產20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局面。

　　該生產線的建立，是中國建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩定性好、光學均勻性高、耐輻照等諸多優點。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國石英玻璃基板長期依賴進口。

　　經過中國建材總院科研人員的不懈努力，最終形成了一套符合我國行業現狀與發展趨勢的獨有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時實現了原材料綠色制造。該項目還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創造性地開發了熔拉制坯、數控倒角等技術，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產品加工，中國建材總院形成專利20余項，行業標準、國軍標及國家標準10余項，開發出了多種規格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產品，不僅逐步替代進口產品，實現了高性能石英玻璃關鍵材料及制品的國產化，而且還出口到歐洲、日本等國。

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